碳化硅的应用与制备技术探析

2024-05-09 10:11:56

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碳化硅(SiC)是一种广泛用于半导体、光电子和功率电子领域的材料,具有优异的性能和应用前景。SiC晶圆是SiC单晶材料的基本形态之一,通常采用N型硅碳化物制备。2英寸晶圆和2英寸单晶是SiC晶圆的常见规格,其中4H-N SiC锭是一种常用的SiC晶体锭。150毫米碳化硅单晶是一种尺寸较大的SiC基板晶圆,可用于大规模集成电路的制备。SiC晶体锭的质量和结晶度对于晶圆的质量和性能有着重要影响。通过不断改进制备技术,碳化硅在各个领域都有着广泛的应用前景,为新能源、电子器件等领域的发展提供了重要支持。

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